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標題: SQC-310系列薄膜鍍層控制儀用戶手冊中文版版號 6.10 [打印本頁]

作者: emx 時間: 2024-1-28 20:45
標題: SQC-310系列薄膜鍍層控制儀用戶手冊中文版版號 6.10

INFICON SQC-310 系列儀器是多通道基于 QCM 的鍍層控制儀. 這些輕便的低價格儀器提供獨特的精度和強大的功能.標準的 SQC-310 配備多至兩個石英晶體傳感器, 和控制多至兩個蒸發(fā)源. 包含 8 個過程控制繼電器, 和 8 個數(shù)字輸入支持廣范圍的外接設備. 傳感器, 輸出, 和數(shù)字 I/O 的數(shù)量可用擴展電路板加倍. SQC-310C 的共鍍層型號允許同時沉積多至 4 種材料. RS-232 和USB 通訊是標準件, 帶有以太網選件.
注: 在本手冊中, SQC-310 和 SQC-310C 均稱為 SQC-310. 在必要區(qū)分兩種型號的情況下, 將分別標明 SQC-310 或 SQC-310C 的型號
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SQC310 Manual V610_chs.pdf (759.93 KB, 售價: 10 E幣)
目錄：
第 1 章 – 快速開始................................................................................................. 1-1
1.0 引言 ......................................................................................................... . . . 1-1
1.1 面板 ......................................................................................................... . . 1-2
1.2 后板.......................................................................................................... . . 1-3
1.3 系統(tǒng)連接........................................................................................... . . . . . . . 1-4
1.4 安裝 .......................................................................................................... . . 1-5
1.5 菜單 ...............................................................................................................1-6
1.6 薄膜沉積綜述 ........................................................................... . . . . . . . . . 1-8
1.7 建立過程.............................................................................................. . . . . . . 1-9
1.8 沉積膜層 .............................................................................................. . . . . . 1-12
第 2 章 – 操作................................................................................................... . . 2-1
2.0 引言 ......................................................................................................... . . 2-1
2.1 定義........................................................................................................... 2-1
2.2 定義膜系................................................................................................ . . . 2-2
2.3 定義過程.............................................................................................. . . . . . 2-6
2.4 定義膜層................................................................................................ . . . 2-8
2.5 傳感器和源設置...................................................................................... . . 2-9
2.6 運行過程 ........................................................................................... . . . . . . . . 2-11
2.7 調諧環(huán)...................................................................................................... . . 2-15
2.8 故障查找 ................................................................................................ . . . 2-17
第 3 章–菜單.......................................................................................................... 3-1
3.0 引言 ......................................................................................................... . . . 3-1
3.1 主屏, 菜單 1.......................................................................................... . . . . 3-2
3.2 主屏, 菜單 2.......................................................................................... . . . 3-3
3.3 主屏, 菜單 3.......................................................................................... . . . . 3-4
3.4 快速編寫菜單 ................................................................................................3-5
3.5 過程菜單 ................................................................................................... . . 3-7
3.6 編寫膜層菜單................................................................................................ 3-9
3.7 膜層復制, 插入和刪除菜單.............................................................. . . . . . . . . . . 3-12
3.8 膜系菜單 ....................................................................................................... 3-15
3.8.1 編寫膜系菜單 ......................................................................................... 3-16
3.8.2 膜系前提條件處理菜單 .......................................................................... 3-19
3.8.3 膜系沉積控制菜單....................................................................... . . . . . 3-20
3.8.4 膜系配置傳感器菜單...................................................................... . . . 3-21
3.9 系統(tǒng)菜單 .................................................................................................... 3-22
傳感器和源 ............................................................................................. . . . . 3-22
3.9.1 輸入和繼電器菜單 ................................................................................ 3-25
3.9.2 邏輯菜單................................................................................................. 3-27
3.9.3 傳感器和源菜單 .......................................................................... . . . . . . 3-32
目錄
0-4
第 4 章 – 維護.............................................................................................. . . . . . . 4-1
4.0 引言 ......................................................................................................... . . 4-1
4.1 清洗 ............................................................................................................. 4-1
4.2 軟件升級 ............................................................................................. . . . . 4-1
4.3 清理內存 ............................................................................ . . . . . . . . . . . . 4-1
4.4 半機架適配件安裝........................................................................... . . . . . . 4-1
4.5 全機架擴展件安裝 ........................................................................... . . . . . . 4-2
第 5 章 – 通訊........................................................................................ . . . . . . . . . . 5-1
5.0 引言 ......................................................................................................... . . . 5-1
5.1 SQC310 COMM.EXE ................................................................................... 5-1
5.2 通訊協(xié)議................................................................................... . . . . . . . . .5-1
5.3 SQC-310 指令 ......................................................................................... . . . 5-3
附錄
A. 材料參數(shù)
B. 技術規(guī)范
C. I/O 連接件
D. 手持遙控器
E. 符合標準的聲明

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