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市場(chǎng)上常見的壓力傳感器的種類及原理分析

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樓主
coolice 發(fā)表于 2020-1-3 15:17:54 | 只看該作者 |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
什么是壓力傳感器呢?壓力傳感器是指將接收的氣體、液體等壓力信號(hào)轉(zhuǎn)變成標(biāo)準(zhǔn)的電流信號(hào)(4~20mADC),以供給指示報(bào)警儀、記錄儀、調(diào)節(jié)器等二次儀表進(jìn)行測(cè)量、指示和過程調(diào)節(jié)的元器件。它主要是由測(cè)壓元件傳感器、測(cè)量電路和過程連接件等組成的(進(jìn)氣壓力傳感器)。
  那么壓力傳感器的種類有哪些呢?就目前市場(chǎng)而言,壓力傳感器一般有差壓傳感器、絕壓傳感器、表壓傳感器,靜態(tài)壓力傳感器和動(dòng)態(tài)壓力傳感器。對(duì)于這幾者之間的關(guān)系,我們可以這樣定義定義:差壓是兩個(gè)實(shí)際壓力的差,當(dāng)差壓中一個(gè)實(shí)際壓力為大氣壓時(shí),差壓就是表壓力。 絕壓是實(shí)際壓力,而有意義的是表壓力,表壓力=絕壓-大氣壓力。靜態(tài)壓力是管道內(nèi)流體不流動(dòng)時(shí)的壓力。動(dòng)態(tài)壓力可以簡(jiǎn)單理解為管道內(nèi)流體流動(dòng)后發(fā)生的壓力。
  根據(jù)不同的方式壓力傳感器的種類也不盡相同。小編通過搜集整理資料,將與壓力傳感器的種類相關(guān)的知識(shí)做如下介紹,下面我們來看具體分析。

  1.擴(kuò)散硅壓力傳感器
  擴(kuò)散硅壓力傳感器工作原理是被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用電子線路檢測(cè)這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。

  2.壓電式壓力傳感器
  (1)壓電式壓力傳感器原理
  壓電式壓力傳感器原理基于壓電效應(yīng)。壓電效應(yīng)是某些電介質(zhì)在沿一定方向上受到外力的作用而變形時(shí),其內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生極化現(xiàn)象,同時(shí)在它的兩個(gè)相對(duì)表面上出現(xiàn)正負(fù)相反的電荷。當(dāng)外力去掉后,它又會(huì)恢復(fù)到不帶電的狀態(tài),這種現(xiàn)象稱為正壓電效應(yīng)。當(dāng)作用力的方向改變時(shí),電荷的極性也隨之改變。相反,當(dāng)在電介質(zhì)的極化方向上施加電場(chǎng),這些電介質(zhì)也會(huì)發(fā)生變形,電場(chǎng)去掉后,電介質(zhì)的變形隨之消失,這種現(xiàn)象稱為逆壓電效應(yīng)。

  (2)壓電式壓力傳感器的種類與應(yīng)用
  壓電式壓力傳感器的種類和型號(hào)繁多,按彈性敏感元件和受力機(jī)構(gòu)的形式可分為膜片式和活塞式兩類。膜片式主要由本體、膜片和壓電元件組成。壓電元件支撐于本體上,由膜片將被測(cè)壓力傳遞給壓電元件,再由壓電元件輸出與被測(cè)壓力成一定關(guān)系的電信號(hào)。這種傳感器的特點(diǎn)是體積小、動(dòng)態(tài)特性好、耐高溫等。
  現(xiàn)代測(cè)量技術(shù)對(duì)傳感器的性能出越來越高的要求。例如用壓力傳感器測(cè)量繪制內(nèi)燃機(jī)示功圖,在測(cè)量中不允許用水冷卻,并要求傳感器能耐高溫和體積小。壓電材料最適合于研制這種壓力傳感器。石英是一種非常好的壓電材料,壓電效應(yīng)就是在它上面發(fā)現(xiàn)。目前比較有效的辦法是選擇適合高溫條件的石英晶體切割方法,例如XYδ(+20°~+30°)割型的石英晶體可耐350℃的高溫。而LiNbO3單晶的居里點(diǎn)高達(dá)1210℃,是制造高溫傳感器的理想壓電材料。

  3.應(yīng)變片(力學(xué))壓力傳感器
  (1)應(yīng)變片(力學(xué))壓力傳感器的種類
  力學(xué)傳感器的種類繁多,如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、高溫壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)高溫壓力變送器變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。但應(yīng)用最為廣泛的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價(jià)格和較高的精度以及較好的線性特性。

  (2)應(yīng)變片(力學(xué))壓力傳感器原理
  在了解壓阻式力傳感器時(shí),我們首先認(rèn)識(shí)一下電阻應(yīng)變片這種元件。電阻應(yīng)變片是一種將被測(cè)件上的應(yīng)變變化轉(zhuǎn)換成為一種電信號(hào)的敏感器件。金屬電阻應(yīng)變片的工作原理是吸附在基體材料上應(yīng)變電阻隨機(jī)械形變而產(chǎn)生阻值變化的現(xiàn)象,俗稱為電阻應(yīng)變效應(yīng)。
  我們以金屬絲應(yīng)變電阻為例,當(dāng)金屬絲受外力作用時(shí),其長(zhǎng)度和截面積都會(huì)發(fā)生變化,從上式中可很容易看出,其電阻值即會(huì)發(fā)生改變,假如金屬絲受外力作用而伸長(zhǎng)時(shí),其長(zhǎng)度增加,而截面積減少,電阻值便會(huì)增大。當(dāng)金屬絲受外力作用而壓縮時(shí),長(zhǎng)度減小而截面增加,電阻值則會(huì)減小。只要測(cè)出加在電阻的變化(通常是測(cè)量電阻兩端的電壓),即可獲得應(yīng)變金屬絲的應(yīng)變情。
  通常是將應(yīng)變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產(chǎn)生力學(xué)應(yīng)變基體上,當(dāng)基體受力發(fā)生應(yīng)力變化時(shí),電阻應(yīng)變片也一起產(chǎn)生形變,使應(yīng)變片的阻值發(fā)生改變,從而使加在電阻上的電壓發(fā)生變化。這種應(yīng)變片在受力時(shí)產(chǎn)生的阻值變化通常較小,一般這種應(yīng)變片都組成應(yīng)變電橋,并通過后續(xù)的儀表放大器進(jìn)行放大,再傳輸給處理電路(通常是A/D轉(zhuǎn)換和CPU)顯示或執(zhí)行機(jī)構(gòu)。

  4.藍(lán)寶石壓力傳感器
  (1)藍(lán)寶石壓力傳感器原理
  表壓壓力傳感器和變送器由雙膜片構(gòu)成:鈦合金測(cè)量膜片和鈦合金接收膜片。印刷有異質(zhì)外延性應(yīng)變靈敏電橋電路的藍(lán)寶石薄片,被焊接在鈦合金測(cè)量膜片上。被測(cè)壓力傳送到接收膜片上(接收膜片與測(cè)量膜片之間用拉桿堅(jiān)固的連接在一起)。在壓力的作用下,鈦合金接收膜片產(chǎn)生形變,該形變被硅-藍(lán)寶石敏感元件感知后,其電橋輸出會(huì)發(fā)生變化,變化的幅度與被測(cè)壓力成正比。

  (2)藍(lán)寶石壓力傳感器應(yīng)用
  利用應(yīng)變電阻式工作原理,采用硅- 藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體敏感元件,具有無與倫比的計(jì)量特性。
  藍(lán)寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會(huì)發(fā)生滯后、疲勞和蠕變現(xiàn)象;藍(lán)寶石比硅要堅(jiān)固,硬度更高,不怕形變;藍(lán)寶石有著非常好的彈性和絕緣特性(1000 OC 以內(nèi)),因此,利用硅- 藍(lán)寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件,對(duì)溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性;藍(lán)寶石的抗輻射特性極強(qiáng);
  另外,硅- 藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件,無防爆壓力變送器p-n 漂移,因此,從根本上簡(jiǎn)化了制造工藝,提高了重復(fù)性,確保了高成品率。
  用硅- 藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,可在最惡劣的工作條件下正常工作,并且可靠性高、精度好、溫度誤差極小、性價(jià)比高。

  5.陶瓷壓力傳感器
  陶瓷壓力傳感器原理
  抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個(gè)惠斯通電橋(閉橋),由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性、與激隔爆溫度變送器勵(lì)電壓也成正比的電壓信號(hào),標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等,可以和應(yīng)變式傳感器相兼容。通過激光標(biāo)定,傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性,傳感器自帶溫度補(bǔ)償0 ~70℃,并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。


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